設計一種可應用于高溫高壓、強腐蝕性環境的壓力檢測傳感器，以滿足極端環境科學研究的需求。利用可耐高溫高壓、抗腐蝕、具有高屈服強度的金屬作為傳感器材料,采用組合式結構和特殊的圓膜片貼片與組橋技術,開發了適合于極端環境工作的欽壓力傳感器,并應用多維線性插值算法對傳感器進行標定,以提高檢測精度實驗檢測結果表明,欽壓力傳感器在60MPa、400C環境下的酸性或堿性溶液中都能正常工作,檢測精可以達到0.%FS以內滿足極端環境高精度壓力檢測需求。

      現代海底熱液系統的發現對地質學、地球化學和生命科學等一系列學科具有重大的意義，并引起了科學家們濃厚的興趣,相關的研究產生了許多新的發現并對傳統的理論進行了挑戰[24對熱液系統進行現場檢測與試驗模擬研究，是進行生物成礦作用、生命起源等科學問題研究必須采用的方法然而由于其處于深海極端環境的特殊性，對檢測技術提出了極高的要求熱液系統的極端環境的特殊性主要表現為[1.56]一是高溫高壓，熱液噴溢口溫度達到400C以上，深度可能在6 000 m以上二是熱液腐蝕性強;三是熱液周圍生長有微生物，這些因素都對檢測帶來極大地困難生物資源的分布與垂直深度密切相關[7-0]深度精確測是進行生命科學地球化學等研究及模擬試驗前提條件，是進行科學探索的重要保障技術之一。

      我國研制的自容式高精度CTD劑面儀，其最大工作深度3000m不能滿足極端環境的特殊要求目前市場上使用的硅壓力傳感器主要是擴散硅壓力傳感器，當工作溫度超過120C，應變電阻與村底間漏電加劇，使傳感器特性嚴重惡化以至失效利用新工藝、新材料研制的多晶硅壓力傳感器、單晶硅壓力傳感器、藍寶石上硅壓力傳感器等最大檢測壓力不能達到60MPa而且硅材料傳感器在堿性境下極易腐蝕，不適合在極端環境下檢測普通金屬材料或合金傳感器在熱液系統中可能溶解成單體對微生物有毒害作用不適宜應用于極端環境10-13]。

      本文介紹了一種可在高溫高壓環境下，酸堿腐蝕的高精度壓力傳感器其采用組合式結構，以工業純鐵作為傳感器加工材料，鐵金屬物理化學性能穩定，可耐高溫，耐腐蝕，屈服強度高，可耐高壓，并且不具有生物毒性;傳感器采用多維標定方法，補償溫度變化引起的漂移誤差，提高了檢測精度。

1、傳感器設計

1.1材料選擇

      熱液系統極端環境的特殊性對傳感器材料強度提出極高的要求，所以，傳感器開發設計的首要難點就是材料的選擇,該材料必須滿足以下幾個條件:能耐高溫高壓;@能耐腐3具備較高的檢測精度;@檢測不污境不具有生性。

      綜合各方面性能本文選用的金屬材料TC4作為傳感器的加工材料，因其具有以下幾個優勢1高溫下物理化學性能穩定可耐高溫，并且經實驗檢測其具有很高的屈服強度與抗拉強度，可耐高壓;@化學性能十分穩定，可耐酸堿腐蝕:具有較好的彈性模量，滿足高精度檢測要求;具有生物惰性，無生物毒性,對檢測環境無污染;所以,該材料完全能滿足極端環境惡劣環境的苛刻要求，是極端環境下壓力檢測傳感器材料的最佳選擇。

1.2 結構設計

      傳感器采用組合式結構(如圖1所示)前端連接件采用內螺紋與被測流體管道對接,保證在高壓下連接安全可靠;密封圈防止卡口連接處高壓液體溢出;壓力傳感器的彈性元件為周邊固定的圓形膜片，貼在欽金屬底座后，避免與熱液直接接觸;通過法蘭結構將導線插頭座固定，避免導線受力脫落而導致傳感器故障。

圖1 傳感器組合式結構

1.3 圓膜片受力分析

      圓形平膜片在周邊固支條件下,受到均勻的壓強作用時，若撓度遠小于膜片厚度，可認為滿足小撓度理論，由彈性薄板小撓度理論可以得出5]。

      圓形平膜片受均布的壓強,設膜片半徑為a,厚度為t離圓心0為任一點A 單元體上兩個相直的應力分別為半徑方向應力  和半方直的切向應力o應分布圖如圖2 最大壓強9可達 60 MPa，傳感器圓膜片半徑a=7mm,厚度t=2mm,計算可得owx=358MPa，oro=-551MPa,實驗檢測鐵金屬材料可知，泊松比v=03,拉伸彈性極限 R =710MPa,屈服強度Rpo-920 MPa，滿足極端環境檢測需求,

圖2 圓膜片受力圖

1.4 圓膜片應變與組橋技術

根據應變分布計算公式15]：

圖3 圓膜式應變片貼片與組橋技術

2、傳感器標定

      游離態、分解態氨基酸等營養物質的濃度隨著海水深度星指數關系分布;在斜溫層，海水溫度與深度之間也近似于指數關系;所以，壓力的精度高低對其它海洋科學實驗結果將會產生重要影響本文開發的極端環境壓力傳感器工作環境溫度變化范圍大，而鐵金屬材料與圓膜式應變片在高溫下性能會產生細微變化，從而導致測量誤差，為解決溫度變化而引人的誤差，本文采用多維分段線性插值算法以提高精度[16]。

      在設定的不同溫度熱液下，本文首先通過標定特定標準壓力得到原始的輸出電壓，將得到原始輸出電壓點陣圖，如圖4所示。

圖 4 特定溫度下檢測標準壓力得到的電壓輸出原始數據點陣圖

      原始點陣的數據是不連續的,對于標準壓力外測量得到的輸出電壓無法進行標定，本文用分段線性插值算法，可以得到同一溫度條件下，不同輸出電壓與檢測壓力之間的對應關系，如圖 5 所示，

      一次線性插值后得到的輸出電壓與檢測壓力之間線性關系圖可以看出，此時輸出電壓與檢測力之間的對應關系仍然是不完整的，只有有限的幾條已知溫度曲線上測量的電壓值可以計算得到檢測壓力值.所以，需要再次進行分段線性插值，可以得到溫度、測電壓與檢測壓力之間的立體關系圖(如圖6所示)立體關系圖建立后，只要得到溫度與輸出電壓值，就可以依據圖得到測量的目標壓力值。

圖5 一維線性插值得到輸出電壓與檢測壓力對應關系圖

3、檢測精度

      經廣東省計量科學研究院國家二等計量測試中心檢測表明*，在環境溫度25C時，測量得到的壓力值與標準值之間的誤差都在士02%FS以內如表1所示)實驗室測試表明，在其他不同溫度條件下，測量得到的壓力值與標準值之間的誤差均小于土0.2%FS。

表 1  標準壓力值與測量壓力值對照表

測試指是記出編號;RZD20044455

4、小結與展望

      本文介紹了一種適用于極端環境的壓力傳感器,該傳感器以鐵金屬為原材料,可耐高溫高壓，在400C熱液環境下，可檢測高達60 MPa的壓力，并且在抗酸堿腐蝕性能強，無生物毒性，經久耐用,對檢測環境無污染采用多維線性插值算法提高了傳感器的檢測精度，可達到滿量程的士0.2%.該傳感器的開發成功，為極端環境的生物成礦生命起源等重大科學研究提供了技術支持,但其檢測技術還存在缺陷，即必須與溫度檢測儀器聯合測試標定才能保證精度實現壓力獨立檢測的高精度壓力傳感器是今后的研究與發展方向。

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